專注于半導體電性能測試
1、MPD晶圓測試
測試設備:脈沖源表P300+探針臺
異常現象:測試中存在一個3nA左右的漏電流
圖:異常測試曲線圖 異常原因:測試現場的連接線屏蔽層接地不達標,外界電磁環境的作用下使設備對大地的電位發生變化,造成設備工作不穩定 優化措施:將屏蔽層接地 圖:優化后測試曲線圖 2、三極管測試 測試設備:2臺直流源表S300+探針臺 異常現象:源表輸出0-3V的電壓掃描,當輸出的電壓小于0.5V時,源表回讀的電壓值為-0.5V 圖:異常測試結果 異常原因:探針臺沒有接地,探針臺結構上存在金屬,在帶電的環境下會存在靜電,從而對測試結果帶來影響 優化措施:將探針臺通過導線接入大地 3、芯片測試 測試設備:直流源表S300+探針臺 異常現象:源表未輸出,探針冒火花
圖:異常測試-探針冒火花
異常原因:三同軸線纜GUARD信號懸空。GUARD信號如連接正確,其電勢與信號層基本一致,所以漏電很小,從而對信號起到了一定的保護作用;但是GUARD信號懸空,其與信號層的電勢差較大,這樣漏電較大,對信號的影響很大 優化措施:將GUARD信號接入源表,使GUARD信號起到保護作用
4、PD測試
測試設備:直流源表S300+探針臺
異常現象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實際顯示-2.69V
圖:異常測試結果
異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺沒有接地 優化措施:更換新的同軸線,將探針臺通過導線接入大地 圖:優化后測試結果