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專注于半導體電性能測試

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國產數字源表(SMU)和探針臺測試應用案例

來源:admin 時間:2024-03-06 13:16 瀏覽量:1611

1、MPD晶圓測試

測試設備:脈沖源表P300+探針臺

異常現象:測試中存在一個3nA左右的漏電流

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圖:異常測試曲線圖

異常原因:測試現場的連接線屏蔽層接地不達標,外界電磁環境的作用下使設備對大地的電位發生變化,造成設備工作不穩定

優化措施:將屏蔽層接地

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圖:優化后測試曲線圖


2、三極管測試

測試設備:2臺直流源表S300+探針臺

異常現象:源表輸出0-3V的電壓掃描,當輸出的電壓小于0.5V時,源表回讀的電壓值為-0.5V

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圖:異常測試結果

異常原因探針臺沒有接地,探針臺結構上存在金屬,在帶電的環境下會存在靜電,從而對測試結果帶來影響

優化措施:將探針臺通過導線接入大地

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圖:優化后測試結果

3、芯片測試

測試設備:直流源表S300+探針臺

異常現象:源表未輸出,探針冒火花

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圖:異常測試-探針冒火花

異常原因三同軸線纜GUARD信號懸空。GUARD信號如連接正確,其電勢與信號層基本一致,所以漏電很小,從而對信號起到了一定的保護作用;但是GUARD信號懸空,其與信號層的電勢差較大,這樣漏電較大,對信號的影響很大

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優化措施:將GUARD信號接入源表,使GUARD信號起到保護作用

4、PD測試

測試設備:直流源表S300+探針臺

異常現象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實際顯示-2.69V

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圖:異常測試結果

異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺沒有接地

優化措施:更換新的同軸線,將探針臺通過導線接入大地


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圖:優化后測試結果

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